AZ  底部防反射涂层材料

AZ BARLi-II,KrF-BARC,ArF-BARC系列             许总 1522013337零

应用于超高分辨率图形加工的底部防反射涂层(Bottom Anti Reflective Coating For Ultra High Resolution Patterning)

在减小称底特别是高反射率称底的反射率，从而提高光刻胶线宽控制方面，AZ的底部防反射涂层材料是一种必需的手段。该产品范围覆

盖了I线/KrF/ArF工艺，另外，它也适用于Via-first的Dual Damascene工艺

 AZ BARC materials are essential item to improve the photoresist linewidth-control by reducing the reflection the substrate,especially 

high reflective substrate The product ranges are optimized for i-line/KrF/ArF process.Besides,it is 

possible to correspond for via first Dual Damascene process

特 征（FEATURES）

1) 对I线/KrF/ArF等高分辨率光刻胶具有很好的亲和性

2) 中性成分组成以及高温交联剂的使用使之具有很大的工艺窗口         许总 1522013337零

3) AZ在底部防反射层和通孔填充材料应用方面有着丰富的经验

参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）

BARC涂布   ：根据产品不同而有着不同的优化膜厚

BARC前烘   ：180℃以上

光刻胶涂布  ：根据不同光刻胶推荐的条件

光刻胶前烘  ：根据不同光刻胶推荐的条件

曝光：根据不同产品而光刻波长不同             

ARC/RELACS

曝光后烘烤  ：根据不同光刻胶推荐的条件

显影：根据不同光刻胶推荐的条件             

BARC蚀刻   ：氧等离子体灰化等

金属层蚀刻  ：根据称底不同而选择适合的工艺条件

剥离：氧等离子体灰化等

BARC涂布时推荐使用AZ EBR-7030作为清洗液

产品型号(PRODUCT RANGE)

Product Range:                                              AZ BARLi-Ⅱ                                                               AZ KrF-BARC SERIES                          AZ ArF-BARC SERIES

 Product Name:                  AZ BARLi-Ⅱ-90 AZ BARLi-Ⅱ-50 AZ BARLi-Ⅱ-200        AZ KrF-17B    AZ KrF-17G7    AZ KrF-21D                   AZArF-1C5D

 Optimum Exposure:                                      i-line (365nm)                                                                  KrF (248nm                                            ArF (193nm)

 n-value:                                                                 1.63                                                      1.46                 1.46                    1.48                                 1.57

 k-value:                                                                   0.31                                                     0.46                  0.40                     0.51                                0.51

 Resist Compatibility:                                           All Purpose                                        All Purpose   All Purpose          Acetal

 Filling Property:                                                    Conformal                                          Partial filling   Full filling        Partial filling                 Conformal

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