AZ  GXR-600 系列光刻胶             许总 1522013337零

高感光度高附着性G线I线通用正型光刻胶（ High Sensitivity & High Adhesion g/i Cross-over Positive-tone Photoresist）

 AZ GXR600 系列是G线I线通用高感光度高附着性正型光刻胶，特别符合高产出率的需求

AZ GXR600 series is high sensitivity cross-over positivie type photoresist which corresponds to the dem of high throughput

特 征（FEATURES）

1) G线，I线通用                    许总 1522013337零

2) 高感光度带来了高产出率

3) 通过提高光刻胶的附着性和热稳定性，改善了刻蚀的工艺

参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）

前烘             ：100℃ 60秒 (DHP)

曝光             ：G线/I线步进式曝光机

曝光后烘烤  ：110℃ 60秒 (DHP)

显影             ：AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle

清洗             ：去离子水30秒

后烘             ：120℃ 120秒 (DHP)

剥离             ：AZ剥离液及/或氧等离子体灰化

产品型号(PRODUCT RANGE)

Product Name：      AZ GXR-601 AZ GXR-602

 Viscosity：                  12mPa           29mPa

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