研究所高精度电镀工艺的超厚膜正胶AZ PLP-30
发布日期:2026/5/14 11:23:41
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AZ PLP 系 列 光刻胶 许总 1522013337零
应用于高精度电镀工艺的超厚膜正型光刻胶(Ultra Thick Film Positive-tone Photoresist for Fine-Pitch Plating Process)
适用于bumping和CSP重布线的超厚膜,高分辨率,对电镀工艺高耐受性正型光
Ultra-thick film high resolution high plating tolerance positive-tone
photoresist for wafer bumping CSP re-routing
特 征(FEATURES)
1) 高分辨率,高垂直性 许总 1522013337零
2) 在电镀工艺中不产生膨胀与裂缝
3) 高附着性
参考工艺条件(SAMPLE PROCESS CONDITIONS)
前烘 :110℃ 90秒 (DHP)
曝光 :G线步进式曝光机/接触式曝光系统
显影 :AZ303N显影液(1:5) 23℃ 120~300秒
清洗 :去离子水30秒
后烘 :90℃ 90秒以上
剥离 :AZ剥离液及/或氧等离子体灰化
产品型号(PRODUCT RANGE)
Product Name: AZ PLP-30 AZ PLP-40
Viscosity: 550mPa 830mPa 750mPa
深圳市芯泰科光电有限公司:光电材料、微电子材料、电子元器件、半导体产品、LED...
主要客户群体:三安光电、中国中材、中谷光电、圆融光电、映瑞光电、奥伦德、中图光电、太时芯光、新广联、北方华创、量晶、享通、SINOEPI、华磊、上城、蓝晶、普吉、神光安瑞、迪源、华灿、京晶、蓝光、亁照、汉莱、士兰微北京大学、清华大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中山大学、西安交大、南京大学、深圳大学先进院等大学研究所.
许总 15220133370 QQ:332767299 0755-28190294