AZ  RFP 系 列 光刻胶           许总 1522013337零

应用于液晶面板制造的辊式涂布正型光刻胶（Roll Coat Positive-tone Photoresist 

for Flat Panel Display）

该光刻胶特别为辊式涂布而研发，使用安全溶剂PGMEA

 This Photoresist has been developed for Roll coating. The solvent is safe with PGMEA

特 征（FEATURES）

1) 由于高感光度实现高产出率             许总 1522013337零

2) 在铬膜和ITO薄膜上实现高附着性

3) 同时实现高附着性和高可去除性

参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）

前烘           ：100℃ 90秒(DHP)

曝光           ：FPD曝光机

显影           ：氢氧化钾1.0wt% 23℃ 60秒

清洗           ：去离子水 30秒

后烘           ：120℃ 120秒(DHP)和/或15~30分钟(烘箱)

剥离           ：AZ剥离液及/或高浓度碱性溶液

产品型号(PRODUCT RANGE)

 Product Name：                  AZ RFP-210K                     AZ RFP-230K2

 Viscosity ：                              30mPa                                30mPa

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