AZ  TFP-300 系列光刻胶                 许总 1522013337零

应用于液晶面板制造的旋涂式正型I线光刻胶（Spin Coating Positive-tone Photoresist for Flat Panel Display）

为液晶面板制造，特别为彩色滤光片的Black Matrix制造工艺优化，使用安全溶剂PGMEA

 Optimized for FPD production,especially for Black Matrix of color filter.

 The solvent is safe with PGMEA

特 征（FEATURES）                          许总 1522013337零

 1) 在大面积玻璃称底上实现良好的涂布特性

2) 在铬膜和ITO薄膜上实现高附着性

3) 同时实现高附着性和高可去除性

参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）

前烘           ：100℃ 90秒(DHP)

曝光           ：FPD曝光机

显影           ：氢氧化钾1.0wt% 23℃ 60秒

            AZ300MIF(TMAH2.38% 23℃ 60秒)

清洗           ：去离子水 30秒

后烘           ：120℃ 120秒(DHP)和/或15~30分钟(烘箱)

剥离           ：AZ剥离液及/或高浓度碱性溶液

产品型号(PRODUCT RANGE) 

Product Name：       AZ TFP-310

 Viscosity：                   6mPa

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