AZ  TFP-600 系 列 光 刻 胶                                            许总 1522013337零

应用于液晶面板制造的超高感光度，旋涂式正型光刻胶（ Ultra High Sensitivity Spin Coating

 Positive-tone Photoresist For Flat Panel Display）

超高感光度及超高附着性正型光刻胶，适用于液晶面板制造，特别为

TFT制造工艺优化，使用安全溶剂PGMEA

Ultra High Sensitivity & High adhesion property positive resist,Optimized For FPD manufacturing,especially TFT manufacturing.

 The solvent is safe with PGMEA.特 征（FEATURES）

特 征（FEATURES）

1) 由于高感光度和高残膜率实现高产出率                             许总 1522013337零

2) 在显影及蚀刻时在各种金属膜上实现高附着性

3) 同时实现高附着性和高可去除性

参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）

前烘           ：100℃ 90秒(DHP)

曝光           ：FPD曝光机(G线+H线)

显影           ：AZ300MIF(TMAH2.38% 23℃60秒)

清洗           ：去离子水 30秒

后烘           ：120℃ 120秒(DHP)

剥离           ：AZ剥离液

产品型号(PRODUCT RANGE)

 Product Name：                           AZ TFP-650F5                             AZ TFP-650H2

 Viscosity：                                        15mPa                                          15mPa

 Photo-Sensitivity

                                                         Eop                    Remained Film Thickness

Conventional Resisit：                   40mj/cm2                         95%

AZ TFP-650F5：                                22mj/cm2                        93%

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