光电研究所开发高感光度湿法蚀刻TGV工艺正胶AZ 1500
发布日期:2026/5/14 16:33:08
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AZ 1500 系列光刻胶 许总 1522013337零
高感光度标准G线正型光刻胶(High Sensitivity Stard g-line Positive-tone Photoresist)
为广泛应用于半导体制造领域而优化的高感光度G线正型光刻胶
High sensitivity broad-b,g-line positive-tone photoresist,optimized for wide production of semiconductor
特 征(FEATURES)
1) 高感光度,高产出率
2) 高附着性,特别为湿法刻蚀工艺改进 许总 1522013337零
3) 广泛应用于全球半导体行业
参考工艺条件(SAMPLE PROCESS CONDITIONS)
前烘 :100℃ 60秒 (DHP)
曝光 :G线步进式曝光机/接触式曝光机
显影 :AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 :去离子水30秒
后烘 :120℃ 120秒 (DHP)
剥离 :AZ剥离液及/或氧等离子体灰化
Product Name: AZ1500
Viscosity: 4.4mPa 20mPa 38mPa 90mPa
深圳市芯泰科光电有限公司:光电材料、微电子材料、电子元器件、半导体产品、LED...
主要客户群体:三安光电、中国中材、中谷光电、圆融光电、映瑞光电、奥伦德、中图光电、太时芯光、新广联、北方华创、量晶、享通、SINOEPI、华磊、上城、蓝晶、普吉、神光安瑞、迪源、华灿、京晶、蓝光、亁照、汉莱、士兰微北京大学、清华大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中山大学、西安交大、南京大学、深圳大学先进院等大学研究所.
许总 15220133370 QQ:332767299 0755-28190294