AZ  DX5200P 系 列 光 刻 胶       许总 1522013337零

应用于沟槽及通孔图形的超高分辨率KrF正型光刻胶(KrF Excimer Laser Positive-tone Photoresist for Contact Hole Trench)

超高分辨率KrF正型光刻胶，为沟槽及通孔图形优化

 High resolution KrF excimer laser positive-tone photoresist,optimized for 

trench Contact Hole pattern

特 征（FEATURES）

1) 高分辨率，大焦深

2) 适用于HT-PSM光罩和普通Binary光罩              许总 1522013337零

3) 适用于各种衬底

参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）

前烘 ：90℃ 60秒 (DHP)            

曝光 ：KrF步进式曝光机

曝光后烘烤  ：120℃ 90秒 (DHP)

显影 ：AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle

清洗 ：去离子水30秒           

剥离 ：AZ剥离液及/或氧等离子体灰化

产品型号(PRODUCT RANGE)

 Product Name:            AZ DX2546P          AZ DX5200P

 Viscosity:                             6cP                           8cP

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