AZ  SFP 系 列 光刻胶        许总 1522013337零

应用于第五代液晶面板制造的旋涂式正型光刻胶（Spin Coat Positive-tone Photoresist for 5th  Generation Flat Panel Display）

AZ SFP系列适用于第五代液晶面板旋涂工艺，有更好的MURA缺陷控制特性

AZ SFP series have been developed on better MURA property for 5th Generation substrates with spin-coat process

特 征（FEATURES）许总 1522013337零

1) 减少旋涂方式所产生的UROKO MURA缺陷

2) 在TFT工艺的各种金属膜上实现高附着性

3) 同时实现高附着性和高可去除性

4) 宽工艺窗口

参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）

前烘           ：110℃ 90秒(DHP)

曝光           ：FPD曝光机

显影           ：AZ300MIF(TMAH2.38% 23℃ 60秒)

清洗           ：去离子水 30秒

后烘           ：120℃ 120秒(DHP)

剥离           ：AZ剥离液及/或高浓度碱性溶液

产品型号(PRODUCT RANGE)

Product Name：             AZ SFP-1400                      AZ SFP-1500

 Viscosity：                                               10mPa

产品感光度(sensitivity)

 Product Name                AZ SFP-1400                           AZ SFP-1500

 Eo：                           30~36 mJ/cm2 (depends on process conditions)

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