光机电所用、通孔图形高分辨率、KrF正胶AZ DX5200P
发布日期:2024/11/1 14:01:12
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光机电所用、通孔图形高分辨率、KrF正胶AZ DX5200P
深圳市芯泰科光电有限公司
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超高分辨率KrF正型光刻胶,为沟槽及通孔图形优化.应用于沟槽及通孔图形的
超高分辨率KrF正型光刻胶,适用于HT-PSM光罩和普通Binary光罩, 适用于各种衬底