如何提高光刻解析、用底部防反射涂层AZ BARLi-II
发布日期：2024/11/1 14:01:11
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如何提高光刻解析、用底部防反射涂层AZ BARLi-II
深圳市芯泰科光电有限公司
产品热线许经理 :13玖23八66554 扣扣：35捌9123零
应用于超高分辨率图形 加工的底部防反射涂层
在减小称底特别是高反射率称底的反射率，从而提高光刻胶线宽控制 方面，AZ的底部防反射涂层材料是一种必需的手段。该产品范围覆 盖了I线/KrF/ArF工艺，另外，它也适用于Via-first的Dual Damascene 工艺
对I线/KrF/ArF等高分辨率光刻胶具有很好的亲和性
中性成分组成以及高温交联剂的使用使之具有很大的工艺窗口
AZ在底部防反射层和通孔填充材料应用方面有着丰富的经验
