FUTURREX NEGATIVE RESIST NR9-1500P

Description 

 

? Negative Resist NR9-1500P is a negative tone photoresist designed for 365 nm 

wavelength exposure, using tools such as wafer steppers, scanning projection aligners, 

proximity printers contact printers. 

? These are the advantages of NR9-1500P over other resists: - superior resolution capability - fast photospeed - fast develop time - temperature resistance of up to 100°C - superior adhesion to substrates - easy resist removal in Resist Remover RR4 - shelf life exceeding 3 years at room temperature storage. 

? The formulation processing of NR9-1500P were designed with regard to occupational 

environmental safety. The principal solvent in NR9-1500P is cyclohexanone  

development of NR9-1500P is accomplished in a basic water solution. 

                              

Properties 

 

    ?    Solids content (%)                                                                                    24-28                        

    ?    Principal solvent                                                                                       cyclohexanone 

    ?    Appearance                                                                                              light yellow liquid 

    ?    Coating characteristic                                                                               very uniform,  

                                                                                                                            striation free 

    ?    Film thickness after 150°C hotplate bake for 60 s.  

           Coating spin speed, 40 s spin (rpm):                                                            (nm) 

800                                                                                                          2850-3150 

1000                                                                                                   2565-2835 

2000                                                                                                   1805-1995 

3000                                                                                                   1425-1575 

4000                                                                                                   1235-1365 

5000                                                                                                   1140-1260 

 

    ?    Sensitivity at 365 nm exposure wavelength (mJ/cm2 for 1μm thick film)  21 

    ?    Guaranteed shelf life at 25°C storage (years)                                          3