AZ  CTP-100K 系 列 光 刻 胶         

许总 1522013337零

应于有机电致发光显示器阴极隔离的负型光刻胶（ Negative-tone Resist for Cathode 

Separator on Organic EL Display）

为阴极隔离而研发的负型光刻胶，它可以实现稳定的倒三角轮廓，并

拥有很好的热稳定性和工艺窗口。使用安全溶剂PGMEA

This negative resist has been developed for Cathode Separator which can 

make s Anti-Taper-angle has high thermal stability wide 

process margin.Besides,it is formulated with safer solvent PGMEA

特 征（FEATURES）

1) 由于高感光度和高残膜率实现高产出率

2) 工艺窗口很宽

3) 物理特性优异，可当作残留材料                                       许总 1522013337零

参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）

前烘   ：100℃ 180秒(DHP)  

膜厚    ：2.5微米         

曝光   ：宽频，接近式曝光机          

曝光后烘烤  ：100℃ 90秒

显影 ：AZ300MIF(TMAH2.38% 23℃ 60秒)

清洗 ：去离子水 30秒

后烘 ：240℃ 60秒(烘箱)             

产品型号(PRODUCT RANGE)

 Product Name：           AZ CTP-100K

 Viscosity：                         27mPa

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