AZ SR 系 列 光 刻胶
许总 1522013337零
应用于第五代以上液晶面板制造的Spin-less涂布正型光刻胶（Spin-less Coat Positive-tone Photoresist for
Over 5th Generation Flat Paner Displays）
AZ SR系列适用于第五代以上液晶面板Spin-less涂布工艺
AZ SR series have been developed optimized for spin-less coating for
over 5th generation substrate process
特 征（FEATURES）
1) 适用于Spin-less涂布方式
2) 与旋涂式光刻胶相比，有同样良好的涂布均匀性 许总 1522013337零
3) 节省光刻胶使用量以及节约能量
4) 工艺窗口很宽
参考工艺条件（SAMPLE PROCESS CONDITIONS）
前烘 ：110℃ 90秒(DHP)
曝光 ：FPD曝光机
显影 ：AZ300MIF(TMAH2.38% 23℃ 60秒)
清洗 ：去离子水 30秒
后烘 ：120℃ 120秒(DHP)
剥离 ：AZ剥离液及/或高浓度碱性溶液
产品型号(PRODUCT RANGE)
Product Name： AZ SR-100 AZ SR-110 AZ SR-210
Viscosity： 3~4mPa
产品感光度(sensitivity)
Product Name： AZ SR-100 AZ SR-110 AZ SR-210
Eo @ 1.5 μm： 32~36 mJ/cm2 (depends on process conditions)
深圳市芯泰科光电有限公司:光电材料、微电子材料、电子元器件、半导体产品、LED...
主要客户群体：三安光电、中国中材、中谷光电、圆融光电、映瑞光电、奥伦德、中图光电、太时芯光、新广联、北方华创、量晶、享通、SINOEPI、华磊、上城、蓝晶、普吉、神光安瑞、迪源、华灿、京晶、蓝光、亁照、汉莱、士兰微北京大学、清华大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中山大学、西安交大、南京大学、深圳大学先进院等大学研究所.
许总 15220133370 QQ:332767299 0755-28190294
